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产品名称:半导体设备波纹管
产品说明:半导体设备专用波纹管是芯片精密制程中的核心精密柔性密封与传动元件,主要分为金属焊接波纹管与特种高分子波纹管两大类,严格遵循SEMI半导体行业标准生产。产品依托精密冲压、无痕焊接、超净精加工工艺成型,可在超高真空、高洁净、强腐蚀、高低温交变的严苛半导体工况下,实现腔体隔离密封、精密位移传动、管路形变补偿、减震降噪等功能,广泛适配光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、晶圆清洗等全制程设备,是保障晶圆良率、设备稳定性与制程精度的关键零部件。